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HWF6630-10型罐式气相沉积炉
2025/7/28
参数及特点
◆ 额定温度：750℃；
◆ 最高温度：1000℃；
◆ 加热区尺寸：φ660×300mm (D×H)；
◆ 温度均匀性：±1℃；
◆ 加热方式：底部+四周；
◆ 控温点数：底部+侧面，共2点；
◆ 升温速率：≤6℃/min；
◆报警保护：超温、断偶等声光报警保护，并具有超温报警断电保护功能。
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